CVD SiC আবরণ
সিলিকন কার্বাইড (SiC) এপিটাক্সি
এপিটাক্সিয়াল ট্রে, যা SiC এপিটাক্সিয়াল স্লাইস বৃদ্ধির জন্য SiC সাবস্ট্রেট ধারণ করে, প্রতিক্রিয়া চেম্বারে রাখা হয় এবং সরাসরি ওয়েফারের সাথে যোগাযোগ করে।
উপরের অর্ধ-চাঁদের অংশটি সিক এপিটাক্সি সরঞ্জামের প্রতিক্রিয়া চেম্বারের অন্যান্য আনুষাঙ্গিকগুলির জন্য একটি বাহক, যখন নীচের অর্ধ-চাঁদের অংশটি কোয়ার্টজ টিউবের সাথে সংযুক্ত থাকে, যা সাসেপ্টর বেসকে ঘোরানোর জন্য গ্যাসের প্রবর্তন করে।এগুলি তাপমাত্রা-নিয়ন্ত্রণযোগ্য এবং ওয়েফারের সাথে সরাসরি যোগাযোগ ছাড়াই প্রতিক্রিয়া চেম্বারে ইনস্টল করা হয়।
সি এপিটাক্সি
ট্রে, যা Si এপিটাক্সিয়াল স্লাইস বৃদ্ধির জন্য Si সাবস্ট্রেট ধারণ করে, প্রতিক্রিয়া চেম্বারে রাখা হয় এবং সরাসরি ওয়েফারের সাথে যোগাযোগ করে।
প্রিহিটিং রিংটি সি এপিটাক্সিয়াল সাবস্ট্রেট ট্রের বাইরের রিং-এ অবস্থিত এবং ক্রমাঙ্কন এবং গরম করার জন্য ব্যবহৃত হয়।এটি প্রতিক্রিয়া চেম্বারে স্থাপন করা হয় এবং সরাসরি ওয়েফারের সাথে যোগাযোগ করে না।
একটি এপিটাক্সিয়াল সাসেপ্টর, যা একটি Si এপিটাক্সিয়াল স্লাইস বৃদ্ধির জন্য Si সাবস্ট্রেট ধারণ করে, প্রতিক্রিয়া চেম্বারে রাখা হয় এবং সরাসরি ওয়েফারের সাথে যোগাযোগ করে।
এপিটাক্সিয়াল ব্যারেল হল মূল উপাদান যা বিভিন্ন সেমিকন্ডাক্টর ম্যানুফ্যাকচারিং প্রসেসে ব্যবহৃত হয়, যা সাধারণত MOCVD সরঞ্জামে ব্যবহৃত হয়, চমৎকার তাপীয় স্থিতিশীলতা, রাসায়নিক প্রতিরোধ এবং পরিধান প্রতিরোধের সাথে উচ্চ তাপমাত্রার প্রক্রিয়ায় ব্যবহারের জন্য খুবই উপযুক্ত।এটি ওয়েফারের সাথে যোগাযোগ করে।
| 重结晶碳化硅物理特性 রিক্রিস্টালাইজড সিলিকন কার্বাইডের ভৌত বৈশিষ্ট্য | |
| 性质 / সম্পত্তি | 典型数值 / সাধারণ মান |
| 使用温度 / কাজের তাপমাত্রা (°C) | 1600°C (অক্সিজেন সহ), 1700°C (পরিবেশ হ্রাসকারী) |
| SiC 含量 / SiC বিষয়বস্তু | > 99.96% |
| 自由 Si 含量 / বিনামূল্যে Si সামগ্রী | <0.1% |
| 体积密度 / বাল্ক ঘনত্ব | 2.60-2.70 গ্রাম/সেমি3 |
| 气孔率 / স্পষ্ট ছিদ্র | <16% |
| 抗压强度 / কম্প্রেশন শক্তি | > 600 MPa |
| 常温抗弯强度 / ঠান্ডা নমন শক্তি | 80-90 MPa (20°C) |
| 高温抗弯强度 গরম নমন শক্তি | 90-100 MPa (1400°C) |
| 热膨胀系数 / তাপ সম্প্রসারণ @1500°C | 4.70 10-6/°সে |
| 导热系数 / তাপ পরিবাহিতা @1200°C | 23 W/m•K |
| 杨氏模量 / ইলাস্টিক মডুলাস | 240 জিপিএ |
| 抗热震性 / তাপীয় শক প্রতিরোধ | অত্যন্ত ভাল |
| 烧结碳化硅物理特性 সিন্টারড সিলিকন কার্বাইডের ভৌত বৈশিষ্ট্য | |
| 性质 / সম্পত্তি | 典型数值 / সাধারণ মান |
| 化学成分 / রাসায়নিক রচনা | SiC>95%, Si<5% |
| 体积密度 / বাল্ক ঘনত্ব | >3.07 গ্রাম/সেমি³ |
| 显气孔率 / স্পষ্ট ছিদ্র | <0.1% |
| 常温抗弯强度 / 20℃ এ ফেটে যাওয়া মডুলাস | 270 এমপিএ |
| 高温抗弯强度 / 1200℃ এ ফাটলের মডুলাস | 290 এমপিএ |
| 硬度 / 20℃ এ কঠোরতা | 2400 কেজি/মিমি² |
| 断裂韧性 / ফ্র্যাকচার শক্ততা 20% | 3.3 এমপিএ · মি1/2 |
| 导热系数 / 1200℃ এ তাপ পরিবাহিতা | 45 w/m .K |
| 热膨胀系数 / 20-1200℃ এ তাপ সম্প্রসারণ | 4.5 1 ×10 -6/℃ |
| 最高工作温度 / সর্বোচ্চ কাজ করার তাপমাত্রা | 1400℃ |
| 热震稳定性 / 1200℃ এ তাপীয় শক প্রতিরোধের | ভাল |
| CVD SiC 薄膜基本物理性能 CVD SiC ফিল্মের মৌলিক শারীরিক বৈশিষ্ট্য | |
| 性质 / সম্পত্তি | 典型数值 / সাধারণ মান |
| 晶体结构 / ক্রিস্টাল স্ট্রাকচার | FCC β ফেজ পলিক্রিস্টালাইন, প্রধানত (111) ভিত্তিক |
| 密度 / ঘনত্ব | 3.21 গ্রাম/সেমি³ |
| 硬度 / কঠোরতা 2500 | 维氏硬度（500g লোড） |
| 晶粒大小 / শস্যের আকার | 2~10μm |
| 纯度 / রাসায়নিক বিশুদ্ধতা | 99.99995% |
| 热容 / তাপ ক্ষমতা | 640 J·kg-1· কে-1 |
| 升华温度 / পরমানন্দ তাপমাত্রা | 2700℃ |
| 抗弯强度 / নমনীয় শক্তি | 415 MPa RT 4-পয়েন্ট |
| 杨氏模量 / ইয়াং'স মডুলাস | 430 Gpa 4pt বাঁক, 1300℃ |
| 导热系数 / তাপ পরিবাহিতা | 300W·m-1· কে-1 |
| 热膨胀系数 / তাপীয় সম্প্রসারণ (CTE) | 4.5×10-6 K -1 |
পাইরোলাইটিক কার্বন আবরণ
প্রধান বৈশিষ্ট্য
পৃষ্ঠটি ঘন এবং ছিদ্রমুক্ত।
উচ্চ বিশুদ্ধতা, মোট অপবিত্রতা সামগ্রী <20ppm, ভাল বায়ুরোধীতা।
উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধের, শক্তি ব্যবহার তাপমাত্রা বৃদ্ধির সাথে বৃদ্ধি পায়, সর্বোচ্চ মান 2750 ℃ এ পৌঁছায়, 3600 ℃ এ পরমানন্দ।
নিম্ন স্থিতিস্থাপক মডুলাস, উচ্চ তাপ পরিবাহিতা, নিম্ন তাপ সম্প্রসারণ সহগ, এবং চমৎকার তাপ শক প্রতিরোধের।
ভাল রাসায়নিক স্থিতিশীলতা, অ্যাসিড, ক্ষার, লবণ এবং জৈব বিকারক প্রতিরোধী, এবং গলিত ধাতু, স্ল্যাগ এবং অন্যান্য ক্ষয়কারী মিডিয়ার উপর কোন প্রভাব নেই।এটি 400 C এর নিচে বায়ুমণ্ডলে উল্লেখযোগ্যভাবে জারিত হয় না এবং 800 ℃ এ অক্সিডেশন হার উল্লেখযোগ্যভাবে বৃদ্ধি পায়।
উচ্চ তাপমাত্রায় কোনো গ্যাস ছাড়াই, এটি প্রায় 1800°C এ 10-7mmHg এর ভ্যাকুয়াম বজায় রাখতে পারে।
পণ্য আবেদন
অর্ধপরিবাহী শিল্পে বাষ্পীভবনের জন্য গলিত ক্রুসিবল।
উচ্চ ক্ষমতার ইলেকট্রনিক টিউব গেট।
ব্রাশ যা ভোল্টেজ নিয়ন্ত্রকের সাথে যোগাযোগ করে।
এক্স-রে এবং নিউট্রনের জন্য গ্রাফাইট একরঙা।
গ্রাফাইট সাবস্ট্রেটের বিভিন্ন আকার এবং পারমাণবিক শোষণ নল আবরণ।
একটি 500X মাইক্রোস্কোপের অধীনে পাইরোলাইটিক কার্বন আবরণ প্রভাব, অক্ষত এবং সিলযুক্ত পৃষ্ঠ সহ।
CVD ট্যানটালাম কার্বাইড আবরণ
TaC আবরণ হল নতুন প্রজন্মের উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধী উপাদান, যাতে SiC-এর চেয়ে ভাল উচ্চ তাপমাত্রার স্থিতিশীলতা রয়েছে।একটি জারা-প্রতিরোধী আবরণ হিসাবে, বিরোধী অক্সিডেশন লেপ এবং পরিধান-প্রতিরোধী আবরণ, 2000C উপরে পরিবেশে ব্যবহার করা যেতে পারে, ব্যাপকভাবে মহাকাশ অতি-উচ্চ তাপমাত্রা গরম শেষ অংশ, তৃতীয় প্রজন্মের অর্ধপরিবাহী একক স্ফটিক বৃদ্ধি ক্ষেত্রগুলিতে ব্যবহৃত হয়।
| 碳化钽涂层物理特性物理特性 TaC আবরণের শারীরিক বৈশিষ্ট্য | |
| 密度/ ঘনত্ব | 14.3 (g/cm3) |
| 比辐射率 /নির্দিষ্ট নির্গততা | 0.3 |
| 热膨胀系数/ তাপ সম্প্রসারণ সহগ | ৬.৩ ১০/কে |
| 努氏硬度 /কঠিনতা (HK) | 2000 HK |
| 电阻/ প্রতিরোধ | 1x10-5 ওহম*সেমি |
| 热稳定性 /তাপীয় স্থিতিশীলতা | <2500℃ |
| 石墨尺寸变化/গ্রাফাইটের আকার পরিবর্তন | -10~-20um |
| 涂层厚度/লেপের বেধ | ≥220um সাধারণ মান (35um±10um) |
সলিড সিলিকন কার্বাইড (CVD SiC)
সলিড সিভিডি সিলিকন কার্বাইড অংশগুলি RTP/EPI রিং এবং বেস এবং প্লাজমা এচ ক্যাভিটি অংশগুলির জন্য প্রাথমিক পছন্দ হিসাবে স্বীকৃত যা উচ্চ সিস্টেমের প্রয়োজনীয় অপারেটিং তাপমাত্রায় (> 1500 ° C), বিশুদ্ধতার জন্য প্রয়োজনীয়তা বিশেষভাবে বেশি (> 99.9995%) এবং কর্মক্ষমতা বিশেষত ভাল যখন প্রতিরোধের টোল রাসায়নিক বিশেষভাবে উচ্চ হয়।এই উপকরণগুলি শস্যের প্রান্তে গৌণ পর্যায়গুলি ধারণ করে না, তাই থিল উপাদানগুলি অন্যান্য উপকরণের তুলনায় কম কণা তৈরি করে।এছাড়াও, এই উপাদানগুলিকে সামান্য ক্ষয় সহ গরম এইচএফ/এইচসিআই ব্যবহার করে পরিষ্কার করা যেতে পারে, যার ফলে কম কণা এবং দীর্ঘ পরিষেবা জীবন পাওয়া যায়।
