সলিড সিভিডি সিলিকন কার্বাইড অংশগুলি RTP/EPI রিং এবং বেস এবং প্লাজম এচ ক্যাভিটি অংশগুলির জন্য প্রাথমিক পছন্দ হিসাবে স্বীকৃত যা উচ্চ সিস্টেমের প্রয়োজনীয় অপারেটিং তাপমাত্রায় (>1500℃), বিশুদ্ধতার প্রয়োজনীয়তাগুলি বিশেষভাবে উচ্চ (>99.9995%) এবং কর্মক্ষমতা বিশেষভাবে ভাল যখন রাসায়নিক প্রতিরোধের বিশেষ করে উচ্চ হয়. এই উপকরণগুলি শস্যের প্রান্তে গৌণ পর্যায়গুলি ধারণ করে না, তাই তাদের উপাদানগুলি অন্যান্য উপকরণের তুলনায় কম কণা তৈরি করে। এছাড়াও, এই উপাদানগুলিকে সামান্য ক্ষয় সহ গরম HF/HCl ব্যবহার করে পরিষ্কার করা যেতে পারে, যার ফলে কম কণা এবং দীর্ঘ পরিষেবা জীবন পাওয়া যায়।
