SEMICERA আইসোস্ট্যাটিক PECVD গ্রাফাইট বোট হল একটি উচ্চ-বিশুদ্ধতা, উচ্চ-ঘনত্বের গ্রাফাইট পণ্য যা PECVD (প্লাজমা বর্ধিত রাসায়নিক বাষ্প জমা) প্রক্রিয়ায় ওয়েফার সমর্থনের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে। SEMICERA উন্নত আইসোস্ট্যাটিক প্রেসিং প্রযুক্তি ব্যবহার করে তা নিশ্চিত করার জন্য যে গ্রাফাইট বোটে চমৎকার উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধ, জারা প্রতিরোধ, মাত্রিক স্থিতিশীলতা এবং ভাল তাপ পরিবাহিতা রয়েছে, যা সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন প্রক্রিয়াতে একটি অপরিহার্য ব্যবহারযোগ্য।
SEMICERA আইসোস্ট্যাটিক PECVD গ্রাফাইট বোটের নিম্নলিখিত সুবিধা রয়েছে:
▪ উচ্চ বিশুদ্ধতা: ওয়েফার পৃষ্ঠের দূষণ এড়াতে গ্রাফাইট উপাদান উচ্চ বিশুদ্ধতা এবং কম অপরিষ্কার সামগ্রী।
▪ উচ্চ ঘনত্ব: উচ্চ ঘনত্ব, উচ্চ যান্ত্রিক শক্তি, উচ্চ তাপমাত্রা এবং উচ্চ ভ্যাকুয়াম পরিবেশ সহ্য করতে পারে।
▪ ভাল মাত্রিক স্থিতিশীলতা: প্রক্রিয়া স্থিতিশীলতা নিশ্চিত করতে উচ্চ তাপমাত্রায় ছোট মাত্রিক পরিবর্তন।
▪ চমৎকার তাপ পরিবাহিতা: ওয়েফার অতিরিক্ত গরম হওয়া প্রতিরোধ করতে কার্যকরভাবে তাপ স্থানান্তর করুন।
▪ শক্তিশালী ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা: বিভিন্ন ক্ষয়কারী গ্যাস এবং প্লাজমা দ্বারা ক্ষয় প্রতিরোধ করতে সক্ষম।
কর্মক্ষমতা পরামিতি | সেমিসেরা | SGL R6510 | কর্মক্ষমতা পরামিতি |
বাল্ক ঘনত্ব (g/cm3) | 1.91 | 1.83 | 1.85 |
নমন শক্তি (MPa) | 63 | 60 | 49 |
সংকোচন শক্তি (MPa) | 135 | 130 | 103 |
তীরের কঠোরতা (HS) | 70 | 64 | 60 |
তাপ সম্প্রসারণের সহগ (10-6/K) | 85 | 105 | 130 |
তাপ সম্প্রসারণের সহগ (10-6/K) | 5.85 | 4.2 | 5.0 |
প্রতিরোধ ক্ষমতা (μΩm) | 11-13 | 13 | 10 |
আমাদের বেছে নেওয়ার সুবিধা:
▪ উপাদান নির্বাচন: পণ্যের গুণমান নিশ্চিত করতে উচ্চ-বিশুদ্ধ গ্রাফাইট সামগ্রী ব্যবহার করা হয়।
▪ প্রক্রিয়াকরণ প্রযুক্তি: আইসোস্ট্যাটিক প্রেসিং পণ্যের ঘনত্ব এবং অভিন্নতা নিশ্চিত করতে ব্যবহৃত হয়।
▪ আকার কাস্টমাইজেশন: বিভিন্ন আকার এবং আকারের গ্রাফাইট বোট গ্রাহকের প্রয়োজন অনুযায়ী কাস্টমাইজ করা যেতে পারে।
▪ সারফেস ট্রিটমেন্ট: বিভিন্ন ধরনের সারফেস ট্রিটমেন্ট পদ্ধতি প্রদান করা হয়, যেমন লেপ সিলিকন কার্বাইড, বোরন নাইট্রাইড ইত্যাদি, বিভিন্ন প্রক্রিয়ার প্রয়োজনীয়তা মেটাতে।