সিভিডি সিলিকন কার্বাইড লেপ-১

CVD SiC কি

রাসায়নিক বাষ্প জমা (CVD) হল একটি ভ্যাকুয়াম ডিপোজিশন প্রক্রিয়া যা উচ্চ-বিশুদ্ধতা কঠিন পদার্থ তৈরি করতে ব্যবহৃত হয়। এই প্রক্রিয়াটি প্রায়শই সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন ক্ষেত্রে ব্যবহৃত হয় ওয়েফারের পৃষ্ঠে পাতলা ফিল্ম তৈরি করতে। সিভিডি দ্বারা SiC প্রস্তুত করার প্রক্রিয়ায়, সাবস্ট্রেটটি এক বা একাধিক উদ্বায়ী পূর্বসূরীর সংস্পর্শে আসে, যা কাঙ্খিত SiC আমানত জমা করতে সাবস্ট্রেটের পৃষ্ঠে রাসায়নিকভাবে বিক্রিয়া করে। SiC উপকরণ প্রস্তুত করার জন্য অনেক পদ্ধতির মধ্যে, রাসায়নিক বাষ্প জমা দ্বারা প্রস্তুত পণ্যগুলির উচ্চ অভিন্নতা এবং বিশুদ্ধতা রয়েছে এবং পদ্ধতিটির শক্তিশালী প্রক্রিয়া নিয়ন্ত্রণযোগ্যতা রয়েছে।

CVD SiC উপকরণগুলি সেমিকন্ডাক্টর শিল্পে ব্যবহারের জন্য খুব উপযুক্ত যেগুলির জন্য উচ্চ-কার্যক্ষমতার উপকরণ প্রয়োজন কারণ তাদের চমৎকার তাপ, বৈদ্যুতিক এবং রাসায়নিক বৈশিষ্ট্যগুলির অনন্য সমন্বয়। CVD SiC উপাদানগুলি এচিং সরঞ্জাম, MOCVD সরঞ্জাম, Si epitaxial সরঞ্জাম এবং SiC epitaxial সরঞ্জাম, দ্রুত তাপ প্রক্রিয়াকরণ সরঞ্জাম এবং অন্যান্য ক্ষেত্রে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়।

সামগ্রিকভাবে, CVD SiC কম্পোনেন্টের সবচেয়ে বড় মার্কেট সেগমেন্ট হল এচিং ইকুইপমেন্ট কম্পোনেন্ট। ক্লোরিন- এবং ফ্লোরিনযুক্ত এচিং গ্যাসের কম প্রতিক্রিয়াশীলতা এবং পরিবাহিতা হওয়ার কারণে, সিভিডি সিলিকন কার্বাইড প্লাজমা এচিং সরঞ্জামগুলিতে ফোকাস রিংগুলির মতো উপাদানগুলির জন্য একটি আদর্শ উপাদান।

এচিং সরঞ্জামে CVD সিলিকন কার্বাইড উপাদানগুলির মধ্যে রয়েছে ফোকাস রিং, গ্যাস শাওয়ার হেড, ট্রে, এজ রিং ইত্যাদি। ফোকাস রিংকে উদাহরণ হিসাবে নিলে, ফোকাস রিং হল একটি গুরুত্বপূর্ণ উপাদান যা ওয়েফারের বাইরে এবং সরাসরি ওয়েফারের সংস্পর্শে থাকে। রিংয়ের মধ্য দিয়ে যাওয়া প্লাজমাকে ফোকাস করার জন্য রিংটিতে ভোল্টেজ প্রয়োগ করে, প্রক্রিয়াকরণের অভিন্নতা উন্নত করতে প্লাজমা ওয়েফারের উপর দৃষ্টি নিবদ্ধ করে।

ঐতিহ্যগত ফোকাস রিংগুলি সিলিকন বা কোয়ার্টজ দিয়ে তৈরি। ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট মিনিয়েচারাইজেশনের অগ্রগতির সাথে, ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট উত্পাদনে এচিং প্রক্রিয়াগুলির চাহিদা এবং গুরুত্ব বৃদ্ধি পাচ্ছে এবং এচিং প্লাজমার শক্তি এবং শক্তি ক্রমাগত বৃদ্ধি পাচ্ছে। বিশেষ করে, ক্যাপাসিটিভলি কাপলড (সিসিপি) প্লাজমা এচিং ইকুইপমেন্টে প্লাজমা এনার্জি বেশি হয়, তাই সিলিকন কার্বাইড ম্যাটেরিয়াল দিয়ে তৈরি ফোকাস রিংগুলির ব্যবহারের হার বাড়ছে। CVD সিলিকন কার্বাইড ফোকাস রিং এর পরিকল্পিত চিত্রটি নীচে দেখানো হয়েছে: