সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদনে ব্যবহৃত পাতলা ফিল্মগুলির প্রতিরোধ ক্ষমতা রয়েছে এবং ফিল্ম প্রতিরোধের ডিভাইসের কার্যক্ষমতার উপর সরাসরি প্রভাব ফেলে। আমরা সাধারণত ফিল্মের নিখুঁত প্রতিরোধের পরিমাপ করি না, তবে এটিকে চিহ্নিত করতে শীট প্রতিরোধের ব্যবহার করি।
শীট রোধ এবং ভলিউম প্রতিরোধ ক্ষমতা কি?
ভলিউম রেজিসিটিভিটি, যা ভলিউম রেজিসিটিভিটি নামেও পরিচিত, একটি উপাদানের অন্তর্নিহিত সম্পত্তি যা বৈদ্যুতিক প্রবাহের প্রবাহকে কতটা বাধা দেয় তা চিহ্নিত করে। সাধারণত ব্যবহৃত প্রতীক ρ প্রতিনিধিত্ব করে, একক হল Ω।
শীট রেজিস্ট্যান্স, যা শীট রেজিস্ট্যান্স নামেও পরিচিত, ইংরেজি নাম হল শীট রেজিস্ট্যান্স, যা প্রতি ইউনিট এলাকা ফিল্মের রেজিস্ট্যান্স মানকে বোঝায়। প্রকাশ করার জন্য সাধারণত ব্যবহৃত চিহ্ন Rs বা ρs, একক হল Ω/sq বা Ω/□
উভয়ের মধ্যে সম্পর্ক হল: শীট রোধ = আয়তনের রোধ/ফিল্ম বেধ, অর্থাৎ, Rs =ρ/t
কেন শীট প্রতিরোধের পরিমাপ?
একটি ফিল্মের নিখুঁত প্রতিরোধ পরিমাপের জন্য ফিল্মের জ্যামিতিক মাত্রা (দৈর্ঘ্য, প্রস্থ, বেধ) সম্পর্কে সুনির্দিষ্ট জ্ঞান প্রয়োজন, যার অনেকগুলি পরিবর্তনশীল এবং খুব পাতলা বা অনিয়মিত আকারের ছায়াছবির জন্য খুব জটিল। শীট প্রতিরোধ শুধুমাত্র ফিল্মের বেধের সাথে সম্পর্কিত এবং জটিল আকারের গণনা ছাড়াই দ্রুত এবং সরাসরি পরীক্ষা করা যেতে পারে।
কোন ছায়াছবি শীট প্রতিরোধের পরিমাপ করা প্রয়োজন?
সাধারণত, পরিবাহী ফিল্ম এবং সেমিকন্ডাক্টর ফিল্মগুলিকে বর্গাকার প্রতিরোধের জন্য পরিমাপ করা প্রয়োজন, অন্যদিকে অন্তরক ফিল্মগুলি পরিমাপ করার প্রয়োজন নেই।
সেমিকন্ডাক্টর ডোপিং এ, সিলিকনের শীট প্রতিরোধের পরিমাপ করা হয়।
কিভাবে বর্গ প্রতিরোধের পরিমাপ?
চার-প্রোব পদ্ধতি সাধারণত শিল্পে ব্যবহৃত হয়। ফোর-প্রোব পদ্ধতিটি 1E-3 থেকে 1E+9Ω/sq পর্যন্ত বর্গাকার রোধ পরিমাপ করতে পারে। ফোর-প্রোব পদ্ধতি প্রোব এবং নমুনার মধ্যে যোগাযোগ প্রতিরোধের কারণে পরিমাপের ত্রুটিগুলি এড়াতে পারে।
পরিমাপ পদ্ধতি:
1) নমুনার পৃষ্ঠে চারটি রৈখিকভাবে সাজানো প্রোব সেট করুন।
2) দুটি বাইরের প্রোবের মধ্যে একটি ধ্রুবক প্রবাহ প্রয়োগ করুন।
3) দুটি অভ্যন্তরীণ প্রোবের মধ্যে সম্ভাব্য পার্থক্য পরিমাপ করে প্রতিরোধ নির্ধারণ করুন
আরএস: শীট প্রতিরোধ
ΔV: অভ্যন্তরীণ প্রোবের মধ্যে পরিমাপ করা ভোল্টেজের পরিবর্তন
আমি: বাইরের প্রোবের মধ্যে বর্তমান প্রয়োগ করা হয়
পোস্টের সময়: মার্চ-২৯-২০২৪