পরমানন্দ পদ্ধতি দ্বারা CVD-SiC বাল্ক উত্স ব্যবহার করে SiC একক স্ফটিকগুলির দ্রুত বৃদ্ধি

SiC একক ক্রিস্টাল ব্যবহার করে দ্রুত বৃদ্ধিCVD-SiC বাল্কপরমানন্দ পদ্ধতির মাধ্যমে উৎস
পুনর্ব্যবহৃত ব্যবহার করেCVD-SiC ব্লকSiC উত্স হিসাবে, PVT পদ্ধতির মাধ্যমে SiC স্ফটিক সফলভাবে 1.46 মিমি/ঘণ্টা হারে বৃদ্ধি করা হয়েছিল। বড় হওয়া ক্রিস্টালের মাইক্রোপাইপ এবং স্থানচ্যুতি ঘনত্ব নির্দেশ করে যে উচ্চ বৃদ্ধির হার সত্ত্বেও, স্ফটিক গুণমান চমৎকার।

সিলিকন কার্বাইড (SiC)উচ্চ ভোল্টেজ, উচ্চ শক্তি, এবং উচ্চ ফ্রিকোয়েন্সিতে অ্যাপ্লিকেশনের জন্য চমৎকার বৈশিষ্ট্য সহ একটি প্রশস্ত ব্যান্ডগ্যাপ সেমিকন্ডাক্টর। সাম্প্রতিক বছরগুলোতে বিশেষ করে পাওয়ার সেমিকন্ডাক্টর ক্ষেত্রে এর চাহিদা দ্রুত বৃদ্ধি পেয়েছে। পাওয়ার সেমিকন্ডাক্টর অ্যাপ্লিকেশনের জন্য, 2100-2500°C তাপমাত্রায় উচ্চ-বিশুদ্ধতার SiC উৎসকে সাবলিমেট করে SiC একক স্ফটিক জন্মানো হয়, তারপর ভৌত বাষ্প পরিবহন (PVT) পদ্ধতি ব্যবহার করে বীজ স্ফটিকের উপর পুনরায় ক্রিস্টাল করা হয়, তারপরে ওয়েফারগুলিতে একক ক্রিস্টাল সাবস্ট্রেট পেতে প্রক্রিয়াকরণ করা হয়। . ঐতিহ্যগতভাবে,SiC স্ফটিকস্ফটিকতা নিয়ন্ত্রণ করতে 0.3 থেকে 0.8 মিমি/ঘণ্টা বৃদ্ধির হারে PVT পদ্ধতি ব্যবহার করে জন্মানো হয়, যা সেমিকন্ডাক্টর অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে ব্যবহৃত অন্যান্য একক স্ফটিক উপকরণের তুলনায় তুলনামূলকভাবে ধীর। যখন PVT পদ্ধতি ব্যবহার করে SiC ক্রিস্টালগুলি উচ্চ বৃদ্ধির হারে জন্মানো হয়, তখন কার্বন অন্তর্ভুক্তি, হ্রাস বিশুদ্ধতা, পলিক্রিস্টালাইন বৃদ্ধি, শস্যের সীমানা গঠন এবং স্থানচ্যুতি এবং ছিদ্রতা ত্রুটিগুলি সহ গুণমানের অবনতিকে উড়িয়ে দেওয়া হয় না। অতএব, SiC-এর দ্রুত বৃদ্ধি বিকশিত হয়নি, এবং SiC-এর ধীর বৃদ্ধির হার SiC সাবস্ট্রেটগুলির উত্পাদনশীলতার ক্ষেত্রে একটি বড় বাধা হয়ে দাঁড়িয়েছে।

অন্যদিকে, SiC-এর দ্রুত বৃদ্ধির সাম্প্রতিক প্রতিবেদনগুলি PVT পদ্ধতির পরিবর্তে উচ্চ-তাপমাত্রার রাসায়নিক বাষ্প জমা (HTCVD) পদ্ধতি ব্যবহার করছে। HTCVD পদ্ধতি চুল্লিতে SiC উত্স হিসাবে Si এবং C ধারণকারী একটি বাষ্প ব্যবহার করে। HTCVD এখনও বড় আকারের SiC উৎপাদনের জন্য ব্যবহার করা হয়নি এবং বাণিজ্যিকীকরণের জন্য আরও গবেষণা ও উন্নয়ন প্রয়োজন। মজার বিষয় হল, এমনকি ∼3 মিমি/ঘন্টা উচ্চ বৃদ্ধির হারেও, HTCVD পদ্ধতি ব্যবহার করে SIC একক ক্রিস্টালগুলি ভাল ক্রিস্টাল মানের সাথে জন্মানো যেতে পারে। ইতিমধ্যে, SiC উপাদানগুলি কঠোর পরিবেশের অধীনে অর্ধপরিবাহী প্রক্রিয়াগুলিতে ব্যবহার করা হয়েছে যার জন্য অত্যন্ত উচ্চ বিশুদ্ধতা প্রক্রিয়া নিয়ন্ত্রণ প্রয়োজন। সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়া অ্যাপ্লিকেশনের জন্য, ∼99.9999% (∼6N) বিশুদ্ধতা SiC উপাদানগুলি সাধারণত মেথিলট্রিক্লোরোসিলেন (CH3Cl3Si, MTS) থেকে CVD প্রক্রিয়া দ্বারা প্রস্তুত করা হয়। যাইহোক, CVD-SiC উপাদানগুলির উচ্চ বিশুদ্ধতা সত্ত্বেও, সেগুলি ব্যবহারের পরে বাতিল করা হয়েছে। সম্প্রতি, বাতিল করা CVD-SiC উপাদানগুলিকে স্ফটিক বৃদ্ধির জন্য SiC উত্স হিসাবে বিবেচনা করা হয়েছে, যদিও ক্রাশিং এবং পরিশোধন সহ কিছু পুনরুদ্ধার প্রক্রিয়া এখনও একটি স্ফটিক বৃদ্ধির উত্সের উচ্চ চাহিদা মেটাতে প্রয়োজন। এই গবেষণায়, আমরা ক্রমবর্ধমান SiC স্ফটিকগুলির উত্স হিসাবে উপকরণগুলি পুনর্ব্যবহার করতে বাতিল করা CVD-SiC ব্লকগুলি ব্যবহার করেছি। একক স্ফটিক বৃদ্ধির জন্য CVD-SiC ব্লকগুলি আকার-নিয়ন্ত্রিত চূর্ণ ব্লক হিসাবে প্রস্তুত করা হয়েছিল, সাধারণত PVT প্রক্রিয়াতে ব্যবহৃত বাণিজ্যিক SiC পাউডারের তুলনায় আকৃতি এবং আকারে উল্লেখযোগ্যভাবে ভিন্ন, তাই SiC একক ক্রিস্টাল বৃদ্ধির আচরণ উল্লেখযোগ্যভাবে হবে বলে আশা করা হয়েছিল। ভিন্ন SiC একক স্ফটিক বৃদ্ধি পরীক্ষা পরিচালনা করার আগে, কম্পিউটার সিমুলেশনগুলি উচ্চ বৃদ্ধির হার অর্জনের জন্য সঞ্চালিত হয়েছিল এবং একক স্ফটিক বৃদ্ধির জন্য তাপীয় অঞ্চলটি সেই অনুযায়ী কনফিগার করা হয়েছিল। স্ফটিক বৃদ্ধির পরে, ক্রস-বিভাগীয় টোমোগ্রাফি, মাইক্রো-রমন স্পেকট্রোস্কোপি, উচ্চ-রেজোলিউশন এক্স-রে ডিফ্র্যাকশন এবং সিঙ্ক্রোট্রন হোয়াইট বিম এক্স-রে টপোগ্রাফি দ্বারা প্রাপ্ত স্ফটিকগুলি মূল্যায়ন করা হয়েছিল।
চিত্র 1 এই গবেষণায় SiC স্ফটিকগুলির PVT বৃদ্ধির জন্য ব্যবহৃত CVD-SiC উত্স দেখায়। ভূমিকায় বর্ণিত হিসাবে, CVD-SiC উপাদানগুলি CVD প্রক্রিয়া দ্বারা MTS থেকে সংশ্লেষিত হয়েছিল এবং যান্ত্রিক প্রক্রিয়াকরণের মাধ্যমে সেমিকন্ডাক্টর ব্যবহারের জন্য আকার দেওয়া হয়েছিল। সেমিকন্ডাক্টর প্রক্রিয়া অ্যাপ্লিকেশনের জন্য পরিবাহিতা অর্জন করতে CVD প্রক্রিয়ায় এন ডোপ করা হয়েছিল। সেমিকন্ডাক্টর প্রসেসে ব্যবহারের পরে, CVD-SiC উপাদানগুলিকে স্ফটিক বৃদ্ধির জন্য উৎস প্রস্তুত করতে চূর্ণ করা হয়েছিল, যেমন চিত্র 1-এ দেখানো হয়েছে। 49.75 মিমি।

চিত্র 1: CVD-SiC উৎস MTS-ভিত্তিক CVD প্রক্রিয়া দ্বারা প্রস্তুত।

চিত্র 1-এ দেখানো CVD-SiC উৎস ব্যবহার করে, SiC স্ফটিকগুলি PVT পদ্ধতিতে একটি ইন্ডাকশন হিটিং ফার্নেসে জন্মানো হয়েছিল। তাপীয় অঞ্চলে তাপমাত্রা বন্টন মূল্যায়ন করতে, বাণিজ্যিক সিমুলেশন কোড VR-PVT 8.2 (STR, সার্বিয়া প্রজাতন্ত্র) ব্যবহার করা হয়েছিল। তাপীয় অঞ্চল সহ চুল্লিটিকে একটি 2D অক্ষ-প্রতিসম মডেল হিসাবে তৈরি করা হয়েছিল, যেমনটি চিত্র 2-এ দেখানো হয়েছে, তার জাল মডেল সহ। সিমুলেশনে ব্যবহৃত সমস্ত উপকরণ চিত্র 2-এ দেখানো হয়েছে, এবং তাদের বৈশিষ্ট্যগুলি সারণী 1-এ তালিকাভুক্ত করা হয়েছে। সিমুলেশন ফলাফলের উপর ভিত্তি করে, SiC স্ফটিকগুলি PVT পদ্ধতি ব্যবহার করে একটি Ar বায়ুমণ্ডলে 2250-2350°C তাপমাত্রায় জন্মানো হয়েছিল। 35 টর 4 ঘন্টার জন্য। একটি 4° অফ-অক্ষ 4H-SiC ওয়েফার SiC বীজ হিসাবে ব্যবহৃত হয়েছিল। বড় হওয়া স্ফটিকগুলি মাইক্রো-রমন স্পেকট্রোস্কোপি (Witec, UHTS 300, Germany) এবং উচ্চ-রেজোলিউশন XRD (HRXRD, X'Pert-PROMED, ​​PANalytical, Netherlands) দ্বারা মূল্যায়ন করা হয়েছিল। ক্রমবর্ধমান SiC স্ফটিকগুলিতে অশুদ্ধতার ঘনত্বগুলি গতিশীল সেকেন্ডারি আয়ন ভর স্পেকট্রোমেট্রি (SIMS, Cameca IMS-6f, France) ব্যবহার করে মূল্যায়ন করা হয়েছিল। পোহাং লাইট সোর্সে সিঙ্ক্রোট্রন হোয়াইট বিম এক্স-রে টপোগ্রাফি ব্যবহার করে বেড়ে ওঠা স্ফটিকগুলির স্থানচ্যুতি ঘনত্ব মূল্যায়ন করা হয়েছিল।

চিত্র 2: একটি ইন্ডাকশন হিটিং ফার্নেসে PVT বৃদ্ধির তাপীয় অঞ্চল চিত্র এবং জাল মডেল।

যেহেতু HTCVD এবং PVT পদ্ধতিগুলি গ্রোথ ফ্রন্টে গ্যাস-সলিড ফেজ ভারসাম্যের অধীনে স্ফটিক বৃদ্ধি করে, তাই HTCVD পদ্ধতির দ্বারা SiC-এর সফল দ্রুত বৃদ্ধি এই গবেষণায় PVT পদ্ধতির দ্বারা SiC-এর দ্রুত বৃদ্ধির চ্যালেঞ্জকে প্ররোচিত করেছে। এইচটিসিভিডি পদ্ধতিতে একটি গ্যাসের উৎস ব্যবহার করা হয় যা সহজেই প্রবাহ-নিয়ন্ত্রিত হয়, যখন পিভিটি পদ্ধতিতে একটি কঠিন উৎস ব্যবহার করা হয় যা সরাসরি প্রবাহ নিয়ন্ত্রণ করে না। PVT পদ্ধতিতে গ্রোথ ফ্রন্টে প্রদত্ত প্রবাহের হার তাপমাত্রা বন্টন নিয়ন্ত্রণের মাধ্যমে কঠিন উৎসের পরমানন্দ হার দ্বারা নিয়ন্ত্রিত হতে পারে, কিন্তু ব্যবহারিক বৃদ্ধি ব্যবস্থায় তাপমাত্রা বন্টনের সুনির্দিষ্ট নিয়ন্ত্রণ অর্জন করা সহজ নয়।
PVT চুল্লিতে উত্সের তাপমাত্রা বৃদ্ধি করে, উত্সের পরমানন্দের হার বাড়িয়ে SiC এর বৃদ্ধির হার বাড়ানো যেতে পারে। স্থিতিশীল স্ফটিক বৃদ্ধি অর্জনের জন্য, বৃদ্ধির সামনে তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ। পলিক্রিস্টাল গঠন না করে বৃদ্ধির হার বাড়ানোর জন্য, বৃদ্ধির সামনে একটি উচ্চ-তাপমাত্রার গ্রেডিয়েন্ট অর্জন করতে হবে, যেমনটি HTCVD পদ্ধতির মাধ্যমে SiC বৃদ্ধি দ্বারা দেখানো হয়েছে। ক্যাপের পিছনের দিকে অপর্যাপ্ত উল্লম্ব তাপ সঞ্চালন হলে তাপীয় বিকিরণের মাধ্যমে বৃদ্ধির পৃষ্ঠায় জমে থাকা তাপকে গ্রোথ পৃষ্ঠে ছড়িয়ে দিতে হবে, যা অতিরিক্ত পৃষ্ঠতলের গঠনের দিকে পরিচালিত করে, অর্থাৎ পলিক্রিস্টালাইন বৃদ্ধি।
PVT পদ্ধতিতে ভর স্থানান্তর এবং পুনঃস্থাপন প্রক্রিয়া উভয়ই HTCVD পদ্ধতির সাথে খুব মিল, যদিও তারা SiC উত্সে ভিন্ন। এর মানে হল যে SiC এর দ্রুত বৃদ্ধিও অর্জনযোগ্য যখন SiC উৎসের পরমানন্দের হার যথেষ্ট বেশি। যাইহোক, PVT পদ্ধতির মাধ্যমে উচ্চ বৃদ্ধির অবস্থার অধীনে উচ্চ-মানের SiC একক স্ফটিক অর্জনের বেশ কয়েকটি চ্যালেঞ্জ রয়েছে। বাণিজ্যিক পাউডারে সাধারণত ছোট এবং বড় কণার মিশ্রণ থাকে। সারফেস এনার্জি পার্থক্যের কারণে, ছোট কণার তুলনামূলকভাবে বেশি অপরিষ্কার ঘনত্ব থাকে এবং বড় কণার আগে পরমান্বিত থাকে, যা স্ফটিকের প্রাথমিক বৃদ্ধির পর্যায়ে উচ্চ অপরিষ্কার ঘনত্বের দিকে পরিচালিত করে। অতিরিক্তভাবে, যেহেতু কঠিন SiC উচ্চ তাপমাত্রায় C এবং Si, SiC2 এবং Si2C এর মতো বাষ্পের প্রজাতিতে পচে যায়, তাই PVT পদ্ধতিতে SiC উত্সটি পরাজিত হলে কঠিন C অনিবার্যভাবে গঠন করে। যদি গঠিত কঠিন C ছোট এবং যথেষ্ট হালকা হয়, দ্রুত বৃদ্ধির অবস্থার অধীনে, "C ধুলো" নামে পরিচিত ছোট C কণাগুলি শক্তিশালী ভর স্থানান্তরের মাধ্যমে স্ফটিক পৃষ্ঠে স্থানান্তরিত হতে পারে, যার ফলে বৃদ্ধিপ্রাপ্ত স্ফটিকের অন্তর্ভুক্তি ঘটে। অতএব, ধাতব অমেধ্য এবং C ধুলো কমাতে, SiC উৎসের কণার আকার সাধারণত 200 μm এর কম ব্যাস নিয়ন্ত্রণ করা উচিত এবং ধীর ভর স্থানান্তর বজায় রাখতে এবং ভাসমান বাদ দেওয়ার জন্য বৃদ্ধির হার ∼0.4 মিমি/ঘন্টার বেশি হওয়া উচিত নয়। সি ধুলো। ধাতব অমেধ্য এবং সি ধুলো বড় হওয়া SiC স্ফটিকগুলির অবক্ষয়ের দিকে পরিচালিত করে, যা PVT পদ্ধতির মাধ্যমে SiC-এর দ্রুত বৃদ্ধির প্রধান বাধা।
এই গবেষণায়, ছোট কণা ছাড়াই চূর্ণ CVD-SiC উত্সগুলি ব্যবহার করা হয়েছিল, শক্তিশালী ভর স্থানান্তরের অধীনে ভাসমান সি ধুলো দূর করে। এইভাবে, তাপীয় অঞ্চল কাঠামোটি দ্রুত SiC বৃদ্ধি অর্জনের জন্য মাল্টিফিজিক্স সিমুলেশন-ভিত্তিক PVT পদ্ধতি ব্যবহার করে ডিজাইন করা হয়েছিল, এবং সিমুলেটেড তাপমাত্রা বন্টন এবং তাপমাত্রা গ্রেডিয়েন্ট চিত্র 3a এ দেখানো হয়েছে।

চিত্র 3: (ক) সীমিত উপাদান বিশ্লেষণের মাধ্যমে প্রাপ্ত PVT চুল্লির বৃদ্ধির সম্মুখের কাছাকাছি তাপমাত্রা বন্টন এবং তাপমাত্রা গ্রেডিয়েন্ট এবং (খ) অক্ষপ্রতিসম রেখা বরাবর উল্লম্ব তাপমাত্রা বন্টন।
0.3 থেকে 0.8 মিমি/ঘণ্টা বৃদ্ধির হারে 1 °C/মিমি-এর কম তাপমাত্রার গ্রেডিয়েন্টের অধীনে ক্রমবর্ধমান SiC স্ফটিকগুলির জন্য সাধারণ তাপীয় অঞ্চল সেটিংসের তুলনায়, এই গবেষণায় তাপীয় অঞ্চলের সেটিংসের তুলনামূলকভাবে বড় তাপমাত্রা গ্রেডিয়েন্ট রয়েছে ∼ ∼2268°C বৃদ্ধির তাপমাত্রায় 3.8 °C/mm। এই গবেষণায় তাপমাত্রা গ্রেডিয়েন্ট মান HTCVD পদ্ধতি ব্যবহার করে 2.4 মিমি/ঘন্টা হারে SiC-এর দ্রুত বৃদ্ধির সাথে তুলনীয়, যেখানে তাপমাত্রা গ্রেডিয়েন্ট ∼14 °C/mm সেট করা হয়েছে। চিত্র 3b এ দেখানো উল্লম্ব তাপমাত্রা বন্টন থেকে, আমরা নিশ্চিত করেছি যে পলিক্রিস্টাল গঠন করতে পারে এমন কোনও বিপরীত তাপমাত্রা গ্রেডিয়েন্ট বৃদ্ধির সামনে উপস্থিত ছিল না, যেমন সাহিত্যে বর্ণিত হয়েছে।
PVT সিস্টেম ব্যবহার করে, SiC স্ফটিকগুলি 4 ঘন্টার জন্য CVD-SiC উত্স থেকে জন্মানো হয়েছিল, যেমনটি চিত্র 2 এবং 3 এ দেখানো হয়েছে। বড় হওয়া SiC থেকে একটি প্রতিনিধি SiC স্ফটিক বৃদ্ধি চিত্র 4a তে দেখানো হয়েছে। চিত্র 4a তে দেখানো SiC স্ফটিকটির পুরুত্ব এবং বৃদ্ধির হার যথাক্রমে 5.84 মিমি এবং 1.46 মিমি/ঘন্টা। চিত্র 4a তে দেখানো প্রাপ্ত SiC স্ফটিকের গুণমান, পলিটাইপ, রূপবিদ্যা এবং বিশুদ্ধতার উপর SiC উত্সের প্রভাব তদন্ত করা হয়েছিল, যেমন চিত্র 4b-e তে দেখানো হয়েছে। চিত্র 4 বি-তে ক্রস-বিভাগীয় টমোগ্রাফি চিত্রটি দেখায় যে সাবঅপ্টিমাল বৃদ্ধির অবস্থার কারণে স্ফটিক বৃদ্ধি উত্তল-আকৃতির ছিল। যাইহোক, চিত্র 4c-এ মাইক্রো-রমন স্পেকট্রোস্কোপি কোনো পলিটাইপ অন্তর্ভুক্তি ছাড়াই 4H-SiC-এর একক ফেজ হিসাবে বর্ধিত স্ফটিককে চিহ্নিত করেছে। এক্স-রে রকিং বক্ররেখা বিশ্লেষণ থেকে প্রাপ্ত (0004) শিখরের FWHM মান ছিল 18.9 আর্কসেকেন্ড, এছাড়াও ভাল স্ফটিক গুণমান নিশ্চিত করে।

চিত্র 4: (ক) গ্রোনো SiC ক্রিস্টাল (বৃদ্ধির হার 1.46 মিমি/ঘন্টা) এবং (b) ক্রস-সেকশনাল টমোগ্রাফি, (c) মাইক্রো-রমন স্পেকট্রোস্কোপি, (d) এক্স-রে রকিং কার্ভ, এবং ( ঙ) এক্স-রে টপোগ্রাফি।

চিত্র 4e হোয়াইট বিম এক্স-রে টপোগ্রাফি দেখায় যা বেড়ে ওঠা স্ফটিকের পালিশ করা ওয়েফারে স্ক্র্যাচ এবং থ্রেডিং ডিসলোকেশন সনাক্ত করে। বেড়ে ওঠা স্ফটিকের স্থানচ্যুতি ঘনত্ব পরিমাপ করা হয়েছিল ∼3000 ea/cm², বীজ স্ফটিকের স্থানচ্যুতি ঘনত্বের চেয়ে সামান্য বেশি, যা ছিল ∼2000 ea/cm²। বাণিজ্যিক ওয়েফারের ক্রিস্টাল মানের সাথে তুলনীয়, বড় হওয়া স্ফটিকটির তুলনামূলকভাবে কম স্থানচ্যুতি ঘনত্ব রয়েছে বলে নিশ্চিত করা হয়েছিল। মজার বিষয় হল, একটি বড় তাপমাত্রা গ্রেডিয়েন্টের অধীনে একটি চূর্ণ CVD-SiC উত্স সহ PVT পদ্ধতি ব্যবহার করে SiC স্ফটিকগুলির দ্রুত বৃদ্ধি অর্জন করা হয়েছিল। বড় হওয়া স্ফটিকের মধ্যে B, Al, এবং N-এর ঘনত্ব ছিল যথাক্রমে 2.18 × 10¹⁶, 7.61 × 10¹⁵ এবং 1.98 × 10¹⁹ পরমাণু/cm³। বেড়ে ওঠা স্ফটিকের মধ্যে P এর ঘনত্ব সনাক্তকরণ সীমার নিচে ছিল (<1.0 × 10¹⁴ পরমাণু/cm³)। চার্জ বাহকদের জন্য অপরিষ্কার ঘনত্ব যথেষ্ট কম ছিল, N ব্যতীত, যা ইচ্ছাকৃতভাবে CVD প্রক্রিয়া চলাকালীন ডোপ করা হয়েছিল।
যদিও এই গবেষণায় ক্রিস্টাল বৃদ্ধি বাণিজ্যিক পণ্যের বিবেচনায় ছোট আকারের ছিল, PVT পদ্ধতির মাধ্যমে CVD-SiC উত্স ব্যবহার করে ভাল ক্রিস্টাল মানের সাথে দ্রুত SiC বৃদ্ধির সফল প্রদর্শনের উল্লেখযোগ্য প্রভাব রয়েছে। যেহেতু CVD-SiC উত্সগুলি, তাদের চমৎকার বৈশিষ্ট্য থাকা সত্ত্বেও, বাতিল করা সামগ্রী পুনর্ব্যবহার করে খরচ-প্রতিযোগীতামূলক, তাই আমরা আশা করি তাদের ব্যাপক ব্যবহার SiC পাউডার উত্সগুলিকে প্রতিস্থাপন করার জন্য একটি প্রতিশ্রুতিশীল SiC উত্স হিসাবে। SiC-এর দ্রুত বৃদ্ধির জন্য CVD-SiC উত্সগুলি প্রয়োগ করতে, PVT সিস্টেমে তাপমাত্রা বন্টন অপ্টিমাইজ করা প্রয়োজন, ভবিষ্যতে গবেষণার জন্য আরও প্রশ্ন উত্থাপন করে।

উপসংহার
এই গবেষণায়, PVT পদ্ধতির মাধ্যমে উচ্চ-তাপমাত্রার গ্রেডিয়েন্ট অবস্থার অধীনে চূর্ণ CVD-SiC ব্লক ব্যবহার করে দ্রুত SiC স্ফটিক বৃদ্ধির সফল প্রদর্শন অর্জন করা হয়েছিল। মজার বিষয় হল, PVT পদ্ধতিতে SiC উত্স প্রতিস্থাপন করে SiC স্ফটিকগুলির দ্রুত বৃদ্ধি উপলব্ধি করা হয়েছিল। এই পদ্ধতিটি উল্লেখযোগ্যভাবে SiC একক স্ফটিকগুলির বৃহৎ-স্কেলের উত্পাদন দক্ষতা বৃদ্ধি করবে বলে আশা করা হচ্ছে, শেষ পর্যন্ত SiC সাবস্ট্রেটগুলির ইউনিট খরচ হ্রাস করবে এবং উচ্চ-কার্যক্ষমতাসম্পন্ন শক্তি ডিভাইসগুলির ব্যাপক ব্যবহারকে প্রচার করবে।