MOCVD সাসেপ্টর কি?

দএমওসিভিডিপদ্ধতিটি বর্তমানে শিল্পে উচ্চ মানের একক ক্রিস্টালাইন পাতলা ফিল্ম, যেমন একক ফেজ InGaN এপিলেয়ার, III-N উপকরণ এবং মাল্টি কোয়ান্টাম ওয়েল স্ট্রাকচার সহ সেমিকন্ডাক্টর ফিল্ম বাড়ানোর জন্য ব্যবহৃত সবচেয়ে স্থিতিশীল প্রক্রিয়াগুলির মধ্যে একটি, এবং এটি অত্যন্ত তাৎপর্যপূর্ণ সেমিকন্ডাক্টর এবং অপটোইলেক্ট্রনিক ডিভাইস উত্পাদন।

দSiC আবরণ MOCVD সাসেপ্টরসিলিকন কার্বাইড (SiC) দিয়ে লেপা একটি বিশেষ ওয়েফার হোল্ডারএপিটাক্সিয়াল ধাতু জৈব রাসায়নিক বাষ্প জমা (MOCVD) প্রক্রিয়া বৃদ্ধি.

SiC আবরণের চমৎকার রাসায়নিক প্রতিরোধের এবং তাপীয় স্থিতিশীলতা রয়েছে, এটিকে এপিটাক্সিয়াল বৃদ্ধি প্রক্রিয়ার দাবিতে ব্যবহৃত MOCVD সাসেপ্টরগুলির জন্য একটি আদর্শ পছন্দ করে তোলে।

MOCVD প্রক্রিয়ার একটি মূল উপাদান হল সাসেপ্টর, যা উৎপাদিত পাতলা ফিল্মগুলির অভিন্নতা এবং গুণমান নিশ্চিত করার জন্য একটি মূল উপাদান।

একটি susceptor কি? সাসেপ্টর হল একটি বিশেষ উপাদান যা MOCVD প্রক্রিয়ায় ব্যবহার করা হয় সাবস্ট্রেটকে সমর্থন ও গরম করার জন্য যার উপর পাতলা ফিল্ম জমা হয়। ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক শক্তি শোষণ, তাপকে তাপে রূপান্তরিত করা এবং স্তরের উপর সমানভাবে তাপ বিতরণ সহ এর একাধিক কাজ রয়েছে। সুনির্দিষ্ট বেধ এবং সংমিশ্রণ সহ অভিন্ন পাতলা ছায়াছবির বৃদ্ধির জন্য এই অভিন্ন গরম করা অপরিহার্য।

সাসেপ্টর প্রকার:
1. গ্রাফাইট সাসেপ্টর: গ্রাফাইট সাসেপ্টর প্রায়ই একটি প্রতিরক্ষামূলক স্তর দিয়ে লেপা হয় যেমনসিলিকন কার্বাইড (SiC), যা তার উচ্চ তাপ পরিবাহিতা এবং স্থিতিশীলতার জন্য পরিচিত। দSiC আবরণএকটি শক্ত, প্রতিরক্ষামূলক পৃষ্ঠ প্রদান করে যা উচ্চ তাপমাত্রায় ক্ষয় এবং অবক্ষয় প্রতিরোধ করে।

2. সিলিকন কার্বাইড (SiC) সাসেপ্টর: এই সাসেপ্টরগুলি সম্পূর্ণরূপে SiC দিয়ে তৈরি এবং চমৎকার তাপীয় স্থিতিশীলতা এবং পরিধান প্রতিরোধক। SiC সাসেপ্টর উচ্চ-তাপমাত্রা প্রক্রিয়া এবং ক্ষয়কারী পরিবেশের জন্য বিশেষভাবে উপযুক্ত।

MOCVD-তে সাসেপ্টর কীভাবে কাজ করে:

MOCVD প্রক্রিয়ায়, অগ্রদূতদের প্রতিক্রিয়া চেম্বারে প্রবর্তন করা হয় যেখানে তারা পচে যায় এবং সাবস্ট্রেটের উপর একটি পাতলা ফিল্ম তৈরি করতে প্রতিক্রিয়া করে। সাসেপ্টরটি নিশ্চিত করে একটি গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করে যে সাবস্ট্রেটটি সমানভাবে উত্তপ্ত হয়, যা সমগ্র স্তরের পৃষ্ঠ জুড়ে সামঞ্জস্যপূর্ণ ফিল্ম বৈশিষ্ট্য অর্জনের জন্য গুরুত্বপূর্ণ। সাসেপ্টরের উপাদান এবং নকশাটি ডিপোজিশন প্রক্রিয়ার নির্দিষ্ট প্রয়োজনীয়তা যেমন তাপমাত্রা পরিসীমা এবং রাসায়নিক সামঞ্জস্যতা মেটাতে সাবধানে নির্বাচন করা হয়।

উচ্চ-মানের সাসেপ্টর ব্যবহার করার সুবিধা:
• উন্নত ফিল্মের গুণমান: অভিন্ন তাপ বিতরণ প্রদান করে, সাসেপ্টর ধারাবাহিক পুরুত্ব এবং সংমিশ্রণ সহ ফিল্মগুলি অর্জনে সহায়তা করে, যা সেমিকন্ডাক্টর ডিভাইসগুলির কর্মক্ষমতার জন্য গুরুত্বপূর্ণ।
• উন্নত প্রক্রিয়া দক্ষতা: উচ্চ-মানের সাসেপ্টরগুলি ত্রুটির সম্ভাবনা হ্রাস করে এবং ব্যবহারযোগ্য ফিল্মগুলির ফলন বাড়িয়ে MOCVD প্রক্রিয়ার সামগ্রিক দক্ষতা বাড়ায়।
• জীবনকাল এবং নির্ভরযোগ্যতা: টেকসই উপকরণ দিয়ে তৈরি সাসেপ্টর যেমন SiC দীর্ঘমেয়াদী নির্ভরযোগ্যতা নিশ্চিত করে এবং রক্ষণাবেক্ষণের খরচ কমায়।

সাসেপ্টর হল MOCVD প্রক্রিয়ার একটি অবিচ্ছেদ্য উপাদান এবং সরাসরি পাতলা ফিল্ম জমার গুণমান এবং দক্ষতাকে প্রভাবিত করে। উপলব্ধ মাপ, MOCVD সাসেপ্টর এবং দাম সম্পর্কে আরও তথ্যের জন্য, অনুগ্রহ করে আমাদের সাথে যোগাযোগ করতে দ্বিধা করবেন না। আমাদের প্রকৌশলীরা আপনাকে উপযুক্ত উপকরণের বিষয়ে পরামর্শ দিতে এবং আপনার সমস্ত প্রশ্নের উত্তর দিতে পেরে খুশি হবেন।

ফোন: +86-13373889683
হোয়াটসঅ্যাপ: +86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com