ট্যানটালাম কার্বাইড লেপা গ্রাফাইট শীটএকটি পাতলা স্তর সঙ্গে একটি গ্রাফাইট উপাদানট্যানটালাম কার্বাইডস্তর পৃষ্ঠের উপর. ট্যানটালাম কার্বাইডের পাতলা স্তরটি সাধারণত গ্রাফাইট সাবস্ট্রেটের পৃষ্ঠে তৈরি হয় শারীরিক বাষ্প জমা (PVD) বা রাসায়নিক বাষ্প জমা (CVD) এর মতো কৌশলগুলির মাধ্যমে। এই আবরণ যেমন উচ্চ কঠোরতা, চমৎকার পরিধান প্রতিরোধের, জারা প্রতিরোধের এবং উচ্চ তাপমাত্রা স্থায়িত্ব হিসাবে চমৎকার বৈশিষ্ট্য আছে.
সেমিসেরা বিভিন্ন উপাদান এবং বাহকের জন্য বিশেষায়িত ট্যানটালাম কার্বাইড (TaC) আবরণ সরবরাহ করে।সেমিসেরা লিডিং লেপ প্রক্রিয়া ট্যান্টালম কার্বাইড (TaC) আবরণগুলিকে উচ্চ বিশুদ্ধতা, উচ্চ তাপমাত্রা স্থিতিশীলতা এবং উচ্চ রাসায়নিক সহনশীলতা অর্জন করতে সক্ষম করে, SIC/GAN স্ফটিক এবং EPI স্তরগুলির পণ্যের গুণমান উন্নত করে (গ্রাফাইট প্রলিপ্ত TaC সাসেপ্টর), এবং মূল চুল্লি উপাদানের আয়ু বাড়ানো। ট্যানটালাম কার্বাইড TaC আবরণ ব্যবহার হল প্রান্ত সমস্যা সমাধান এবং স্ফটিক বৃদ্ধির গুণমান উন্নত করা, এবং সেমিসেরা যুগান্তকারী সমাধান করেছে ট্যান্টালম কার্বাইড লেপ প্রযুক্তি (CVD), আন্তর্জাতিক উন্নত স্তরে পৌঁছেছে।
বছরের পর বছর বিকাশের পর, সেমিসেরা এর প্রযুক্তিকে জয় করেছেCVD TaCR&D বিভাগের যৌথ প্রচেষ্টায়। SiC ওয়েফারের বৃদ্ধি প্রক্রিয়ায় ত্রুটিগুলি ঘটতে সহজ, কিন্তু ব্যবহারের পরেTaC, পার্থক্য উল্লেখযোগ্য. নীচে TaC সহ এবং ছাড়া ওয়েফারগুলির একটি তুলনা করা হয়েছে, সেইসাথে একক স্ফটিক বৃদ্ধির জন্য সিমিসেরার অংশগুলি।
ট্যানটালাম কার্বাইড লেপা গ্রাফাইট শীটের প্রধান সুবিধার মধ্যে রয়েছে:
1. উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধের: ট্যানটালাম কার্বাইডের একটি উচ্চ গলনাঙ্ক এবং চমৎকার উচ্চ তাপমাত্রার স্থিতিশীলতা রয়েছে, যা প্রলিপ্ত গ্রাফাইট শীটকে উচ্চ তাপমাত্রার পরিবেশে ব্যবহারের জন্য উপযুক্ত করে তোলে।
2. জারা প্রতিরোধের: ট্যানটালাম কার্বাইড আবরণ অনেক রাসায়নিক ক্ষয়কারী পদার্থের ক্ষয় প্রতিরোধ করতে পারে এবং উপাদানের পরিষেবা জীবনকে প্রসারিত করতে পারে।
3. উচ্চ কঠোরতা: ট্যানটালাম কার্বাইড পাতলা স্তরের উচ্চ কঠোরতা ভাল পরিধান প্রতিরোধের প্রদান করে এবং উচ্চ পরিধান প্রতিরোধের প্রয়োজন এমন অ্যাপ্লিকেশনগুলির জন্য উপযুক্ত।
4. রাসায়নিক স্থিতিশীলতা: ট্যানটালাম কার্বাইড আবরণ রাসায়নিক ক্ষয়ের জন্য চমৎকার স্থিতিশীলতা রয়েছে এবং কিছু ক্ষয়কারী মিডিয়াতে ব্যবহারের জন্য উপযুক্ত।
TaC সহ এবং ছাড়া
TaC ব্যবহার করার পর (ডানে)
তাছাড়া সেমিসেরারTaC-প্রলিপ্ত পণ্যতুলনায় একটি দীর্ঘ সেবা জীবন এবং বৃহত্তর উচ্চ-তাপমাত্রা প্রতিরোধের প্রদর্শনSiC আবরণ.পরীক্ষাগার পরিমাপ প্রমাণ করেছে যে আমাদেরTaC আবরণবর্ধিত সময়ের জন্য 2300 ডিগ্রি সেলসিয়াস পর্যন্ত তাপমাত্রায় ধারাবাহিকভাবে পারফর্ম করতে পারে। নীচে আমাদের নমুনার কিছু উদাহরণ দেওয়া হল:
