সেমিসেরওয়েফার ক্যাসেটসেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন প্রক্রিয়ার একটি গুরুত্বপূর্ণ উপাদান, যা সূক্ষ্ম সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফারগুলিকে নিরাপদে ধরে রাখতে এবং পরিবহন করার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে। দওয়েফার ক্যাসেটব্যতিক্রমী সুরক্ষা প্রদান করে, নিশ্চিত করে যে প্রতিটি ওয়েফার হ্যান্ডলিং, স্টোরেজ এবং পরিবহনের সময় দূষক এবং শারীরিক ক্ষতি থেকে মুক্ত রাখা হয়।
উচ্চ-বিশুদ্ধতা, রাসায়নিক-প্রতিরোধী উপকরণ দিয়ে নির্মিত, সেমিসেরাওয়েফার ক্যাসেটসর্বোচ্চ স্তরের পরিচ্ছন্নতা এবং স্থায়িত্ব নিশ্চিত করে, যা উৎপাদনের প্রতিটি পর্যায়ে ওয়েফারের অখণ্ডতা বজায় রাখার জন্য অপরিহার্য। এই ক্যাসেটের নির্ভুল প্রকৌশল দূষণ এবং যান্ত্রিক ক্ষতির ঝুঁকি কমিয়ে স্বয়ংক্রিয় হ্যান্ডলিং সিস্টেমের সাথে বিরামহীন একীকরণের অনুমতি দেয়।
এর নকশাওয়েফার ক্যাসেটএছাড়াও সর্বোত্তম বায়ুপ্রবাহ এবং তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ সমর্থন করে, যা নির্দিষ্ট পরিবেশগত অবস্থার প্রয়োজন এমন প্রক্রিয়াগুলির জন্য অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ। ক্লিনরুমে বা তাপ প্রক্রিয়াকরণের সময় ব্যবহার করা হোক না কেন, সেমিসেরাওয়েফার ক্যাসেটসেমিকন্ডাক্টর শিল্পের কঠোর চাহিদা মেটাতে প্রকৌশলী করা হয়েছে, উত্পাদন দক্ষতা এবং পণ্যের গুণমান উন্নত করার জন্য নির্ভরযোগ্য এবং সামঞ্জস্যপূর্ণ কর্মক্ষমতা প্রদান করে।
| আইটেম | উৎপাদন | গবেষণা | ডামি |
| ক্রিস্টাল পরামিতি | |||
| পলিটাইপ | 4H | ||
| সারফেস ওরিয়েন্টেশন ত্রুটি | <11-20 >4±0.15° | ||
| বৈদ্যুতিক পরামিতি | |||
| ডোপান্ট | n-টাইপ নাইট্রোজেন | ||
| প্রতিরোধ ক্ষমতা | 0.015-0.025ohm·cm | ||
| যান্ত্রিক পরামিতি | |||
| ব্যাস | 150.0±0.2 মিমি | ||
| পুরুত্ব | 350±25 μm | ||
| প্রাথমিক সমতল অভিযোজন | [1-100]±5° | ||
| প্রাথমিক সমতল দৈর্ঘ্য | 47.5±1.5 মিমি | ||
| সেকেন্ডারি ফ্ল্যাট | কোনোটিই নয় | ||
| টিটিভি | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| এলটিভি | ≤3 μm(5mm*5mm) | ≤5 μm(5mm*5mm) | ≤10 μm(5mm*5mm) |
| নম | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| ওয়ার্প | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| সামনের (সি-ফেস) রুক্ষতা (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| গঠন | |||
| মাইক্রোপাইপ ঘনত্ব | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| ধাতব অমেধ্য | ≤5E10 পরমাণু/cm2 | NA | |
| বিপিডি | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| টিএসডি | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| সামনের গুণমান | |||
| সামনে | Si | ||
| সারফেস ফিনিস | সি-ফেস সিএমপি | ||
| কণা | ≤60ea/ওয়েফার (আকার≥0.3μm) | NA | |
| আঁচড় | ≤5ea/মিমি। ক্রমবর্ধমান দৈর্ঘ্য ≤ ব্যাস | ক্রমবর্ধমান দৈর্ঘ্য≤2*ব্যাস | NA |
| কমলার খোসা/পিট/দাগ/দাগ/ফাটল/দূষণ | কোনোটিই নয় | NA | |
| এজ চিপস/ইন্ডেন্টস/ফ্র্যাকচার/হেক্স প্লেট | কোনোটিই নয় | ||
| পলিটাইপ এলাকা | কোনোটিই নয় | ক্রমবর্ধমান এলাকা≤20% | ক্রমবর্ধমান এলাকা≤30% |
| সামনে লেজার চিহ্নিতকরণ | কোনোটিই নয় | ||
| ব্যাক কোয়ালিটি | |||
| ফিরে শেষ | সি-ফেস সিএমপি | ||
| আঁচড় | ≤5ea/মিমি, ক্রমবর্ধমান দৈর্ঘ্য≤2*ব্যাস | NA | |
| পিছনের ত্রুটি (এজ চিপস/ইন্ডেন্ট) | কোনোটিই নয় | ||
| পিঠের রুক্ষতা | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| পিছনে লেজার চিহ্নিতকরণ | 1 মিমি (উপরের প্রান্ত থেকে) | ||
| প্রান্ত | |||
| প্রান্ত | চেম্ফার | ||
| প্যাকেজিং | |||
| প্যাকেজিং | ভ্যাকুয়াম প্যাকেজিংয়ের সাথে এপি-প্রস্তুত মাল্টি-ওয়েফার ক্যাসেট প্যাকেজিং | ||
| *দ্রষ্টব্য: "NA" মানে কোন অনুরোধ নেই উল্লেখ করা আইটেমগুলি সেমি-এসটিডি উল্লেখ করতে পারে। | |||
