ওয়েফার হ্যান্ডলিং বাহুহ্যান্ডেল, স্থানান্তর এবং অবস্থানের জন্য সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন প্রক্রিয়াতে ব্যবহৃত একটি মূল সরঞ্জামওয়েফার. এটিতে সাধারণত একটি রোবোটিক আর্ম, একটি গ্রিপার এবং একটি নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা থাকে, যার মধ্যে সুনির্দিষ্ট নড়াচড়া এবং অবস্থানের ক্ষমতা থাকে।ওয়েফার হ্যান্ডলিং অস্ত্রওয়েফার লোডিং, পরিষ্কার, পাতলা ফিল্ম ডিপোজিশন, এচিং, লিথোগ্রাফি এবং পরিদর্শনের মতো প্রক্রিয়া পদক্ষেপগুলি সহ সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদনের বিভিন্ন লিঙ্কগুলিতে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়। উত্পাদন প্রক্রিয়ার গুণমান, দক্ষতা এবং ধারাবাহিকতা নিশ্চিত করার জন্য এর নির্ভুলতা, নির্ভরযোগ্যতা এবং অটোমেশন ক্ষমতা অপরিহার্য।
ওয়েফার হ্যান্ডলিং আর্মের প্রধান কাজগুলির মধ্যে রয়েছে:
1. ওয়েফার স্থানান্তর: ওয়েফার হ্যান্ডলিং আর্ম সঠিকভাবে ওয়েফারগুলিকে এক স্থান থেকে অন্য স্থানে স্থানান্তর করতে সক্ষম, যেমন একটি স্টোরেজ র্যাক থেকে ওয়েফার নেওয়া এবং একটি প্রক্রিয়াকরণ ডিভাইসে স্থাপন করা।
2. পজিশনিং এবং ওরিয়েন্টেশন: ওয়েফার হ্যান্ডলিং আর্মটি পরবর্তী প্রক্রিয়াকরণ বা পরিমাপ ক্রিয়াকলাপের জন্য সঠিক প্রান্তিককরণ এবং অবস্থান নিশ্চিত করতে ওয়েফারটিকে সঠিকভাবে অবস্থান এবং অভিমুখ করতে সক্ষম।
3. ক্ল্যাম্পিং এবং রিলিজিং: ওয়েফার হ্যান্ডলিং আর্মস সাধারণত গ্রিপার দিয়ে সজ্জিত থাকে যা নিরাপদে ওয়েফারগুলিকে ক্ল্যাম্প করতে পারে এবং ওয়েফারগুলির নিরাপদ স্থানান্তর এবং পরিচালনা নিশ্চিত করার জন্য প্রয়োজন হলে সেগুলি ছেড়ে দিতে পারে।
4. স্বয়ংক্রিয় নিয়ন্ত্রণ: ওয়েফার হ্যান্ডলিং আর্ম একটি উন্নত নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থার সাথে সজ্জিত যা স্বয়ংক্রিয়ভাবে পূর্বনির্ধারিত অ্যাকশন সিকোয়েন্সগুলি কার্যকর করতে পারে, উত্পাদন দক্ষতা উন্নত করতে পারে এবং মানুষের ত্রুটিগুলি কমাতে পারে৷
বৈশিষ্ট্য এবং সুবিধা
1. সুনির্দিষ্ট মাত্রা এবং তাপ স্থায়িত্ব.
2. উচ্চ নির্দিষ্ট কঠোরতা এবং চমৎকার তাপ অভিন্নতা, দীর্ঘমেয়াদী ব্যবহার বিকৃতি বাঁক সহজ নয়.
3. এটি একটি মসৃণ পৃষ্ঠ এবং ভাল পরিধান প্রতিরোধের আছে, এইভাবে নিরাপদে কণা দূষণ ছাড়া চিপ পরিচালনা.
4. 106-108Ω সিলিকন কার্বাইড প্রতিরোধ ক্ষমতা, অ-চৌম্বকীয়, বিরোধী-ESD স্পেসিফিকেশন প্রয়োজনীয়তার সাথে সঙ্গতিপূর্ণ; এটি চিপের পৃষ্ঠে স্ট্যাটিক বিদ্যুত জমা হওয়া প্রতিরোধ করতে পারে।
5. গুড তাপ পরিবাহিতা, কম সম্প্রসারণ সহগ।