অংশ 1
সিক এবং এআইএন সিঙ্গেল ক্রিস্টাল ফার্নেসে ক্রুসিবল, বীজ ধারক এবং গাইড রিং PVT পদ্ধতিতে জন্মানো হয়েছিল
চিত্র 2 [1] এ দেখানো হয়েছে, যখন SiC প্রস্তুত করতে ভৌত বাষ্প পরিবহন পদ্ধতি (PVT) ব্যবহার করা হয়, তখন বীজ স্ফটিক অপেক্ষাকৃত কম তাপমাত্রার অঞ্চলে থাকে, SiC কাঁচামাল তুলনামূলকভাবে উচ্চ তাপমাত্রা অঞ্চলে থাকে (2400 এর উপরে℃), এবং কাঁচামাল SiXCy তৈরি করতে পচে যায় (প্রধানত Si, SiC সহ₂, সি₂সি, ইত্যাদি)।বাষ্প পর্যায়ের উপাদান উচ্চ তাপমাত্রা অঞ্চল থেকে নিম্ন তাপমাত্রা অঞ্চলে বীজ স্ফটিক পরিবাহিত হয়, fঅরমিং বীজ নিউক্লিয়াস, ক্রমবর্ধমান, এবং একক স্ফটিক উৎপন্ন.এই প্রক্রিয়ায় ব্যবহৃত তাপীয় ক্ষেত্রের উপকরণ, যেমন ক্রুসিবল, ফ্লো গাইড রিং, বীজ স্ফটিক ধারক, উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধী হওয়া উচিত এবং SiC কাঁচামাল এবং SiC একক ক্রিস্টালকে দূষিত করবে না।একইভাবে, AlN একক স্ফটিকের বৃদ্ধিতে গরম করার উপাদানগুলিকে আল বাষ্প, এন প্রতিরোধী হতে হবে₂জারা, এবং একটি উচ্চ eutectic তাপমাত্রা থাকা প্রয়োজন (সঙ্গে AlN) স্ফটিক প্রস্তুতির সময়কাল সংক্ষিপ্ত করতে।
এটি পাওয়া গেছে যে SiC[2-5] এবং AlN[2-3] দ্বারা প্রস্তুত করা হয়েছেTaC প্রলিপ্তগ্রাফাইট তাপীয় ক্ষেত্রের উপাদানগুলি পরিষ্কার ছিল, প্রায় কোনও কার্বন (অক্সিজেন, নাইট্রোজেন) এবং অন্যান্য অমেধ্য ছিল না, প্রান্তের কম ত্রুটি, প্রতিটি অঞ্চলে ছোট প্রতিরোধ ক্ষমতা, এবং মাইক্রোপোর ঘনত্ব এবং এচিং পিট ঘনত্ব উল্লেখযোগ্যভাবে হ্রাস পেয়েছিল (KOH এচিংয়ের পরে), এবং স্ফটিক গুণমান ব্যাপকভাবে উন্নত ছিল।এছাড়াও,TaC ক্রুসিবলওজন কমানোর হার প্রায় শূন্য, চেহারা অ-ধ্বংসাত্মক, পুনর্ব্যবহৃত করা যেতে পারে (200 ঘন্টা পর্যন্ত জীবন), এই ধরনের একক ক্রিস্টাল প্রস্তুতির স্থায়িত্ব এবং দক্ষতা উন্নত করতে পারে।
ডুমুর2. (ক) PVT পদ্ধতিতে SiC একক ক্রিস্টাল ইনগট ক্রমবর্ধমান ডিভাইসের পরিকল্পিত চিত্র
(খ) শীর্ষTaC প্রলিপ্তবীজ বন্ধনী (SIC বীজ সহ)
(গ)TAC-প্রলিপ্ত গ্রাফাইট গাইড রিং
অংশ ২
MOCVD GaN এপিটাক্সিয়াল স্তর ক্রমবর্ধমান হিটার
চিত্র 3 (ক) তে দেখানো হয়েছে, MOCVD GaN বৃদ্ধি হল একটি রাসায়নিক বাষ্প জমা প্রযুক্তি যা বাষ্পের এপিটাক্সিয়াল বৃদ্ধির মাধ্যমে পাতলা ফিল্ম বৃদ্ধির জন্য জৈবমিতিক পচন প্রতিক্রিয়া ব্যবহার করে।গহ্বরে তাপমাত্রার নির্ভুলতা এবং অভিন্নতা হিটারকে MOCVD সরঞ্জামের সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ মূল উপাদানে পরিণত করে।সাবস্ট্রেটটি দীর্ঘ সময়ের জন্য দ্রুত এবং অভিন্নভাবে উত্তপ্ত করা যায় কিনা (বারবার শীতল করার অধীনে), উচ্চ তাপমাত্রায় স্থিতিশীলতা (গ্যাস ক্ষয় প্রতিরোধ) এবং ফিল্মের বিশুদ্ধতা সরাসরি ফিল্মের জমার গুণমানকে প্রভাবিত করবে, বেধের সামঞ্জস্য, এবং চিপ কর্মক্ষমতা.
MOCVD GaN গ্রোথ সিস্টেমে হিটারের কর্মক্ষমতা এবং পুনর্ব্যবহারযোগ্য দক্ষতা উন্নত করার জন্য,TAC-প্রলিপ্তগ্রাফাইট হিটার সফলভাবে চালু করা হয়েছিল।প্রচলিত হিটার (pBN আবরণ ব্যবহার করে) দ্বারা উত্থিত GaN এপিটাক্সিয়াল স্তরের সাথে তুলনা করে, TaC হিটার দ্বারা উত্থিত GaN এপিটাক্সিয়াল স্তরের প্রায় একই স্ফটিক গঠন, পুরুত্বের অভিন্নতা, অন্তর্নিহিত ত্রুটি, অশুদ্ধতা ডোপিং এবং দূষণ রয়েছে।উপরন্তু, দTaC আবরণকম প্রতিরোধ ক্ষমতা এবং নিম্ন পৃষ্ঠ নির্গমন ক্ষমতা আছে, যা হিটারের কার্যকারিতা এবং অভিন্নতা উন্নত করতে পারে, যার ফলে শক্তি খরচ এবং তাপ হ্রাস হ্রাস পায়।হিটারের বিকিরণ বৈশিষ্ট্যগুলিকে আরও উন্নত করতে এবং এর পরিষেবা জীবনকে প্রসারিত করতে প্রক্রিয়া পরামিতিগুলি নিয়ন্ত্রণ করে আবরণের ছিদ্রতা সামঞ্জস্য করা যেতে পারে [5]।এই সুবিধাগুলি তৈরি করেTaC প্রলিপ্তগ্রাফাইট হিটার MOCVD GaN গ্রোথ সিস্টেমের জন্য একটি চমৎকার পছন্দ।
ডুমুর3. (ক) GaN এপিটাক্সিয়াল বৃদ্ধির জন্য MOCVD ডিভাইসের পরিকল্পিত চিত্র
(b) MOCVD সেটআপে মোল্ডেড TAC-কোটেড গ্রাফাইট হিটার ইনস্টল করা হয়েছে, বেস এবং বন্ধনী বাদ দিয়ে (উপকরণে বেস এবং বন্ধনী দেখানো চিত্র)
(c) 17 GaN এপিটাক্সিয়াল বৃদ্ধির পরে TAC-কোটেড গ্রাফাইট হিটার।[৬]
অংশ/৩
এপিটাক্সির জন্য প্রলিপ্ত সাসেপ্টর (ওয়েফার ক্যারিয়ার)
ওয়েফার ক্যারিয়ার হল SiC, AlN, GaN এবং অন্যান্য তৃতীয় শ্রেণীর সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফার এবং এপিটাক্সিয়াল ওয়েফার বৃদ্ধির প্রস্তুতির জন্য একটি গুরুত্বপূর্ণ কাঠামোগত উপাদান।বেশিরভাগ ওয়েফার ক্যারিয়ার গ্রাফাইট দিয়ে তৈরি এবং প্রক্রিয়া গ্যাস থেকে ক্ষয় প্রতিরোধ করার জন্য SiC আবরণ দিয়ে প্রলেপ দেওয়া হয়, যার এপিটাক্সিয়াল তাপমাত্রা 1100 থেকে 1600 এর মধ্যে থাকে°সি, এবং প্রতিরক্ষামূলক আবরণের জারা প্রতিরোধের ওয়েফার ক্যারিয়ারের জীবনে একটি গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করে।ফলাফলগুলি দেখায় যে TaC এর ক্ষয় হার উচ্চ তাপমাত্রার অ্যামোনিয়াতে SiC এর চেয়ে 6 গুণ ধীর।উচ্চ তাপমাত্রা হাইড্রোজেনে, জারা হার SiC থেকে 10 গুণেরও বেশি ধীর।
এটি পরীক্ষা দ্বারা প্রমাণিত হয়েছে যে TaC দ্বারা আচ্ছাদিত ট্রেগুলি নীল আলোর GaN MOCVD প্রক্রিয়াতে ভাল সামঞ্জস্য দেখায় এবং অমেধ্য প্রবর্তন করে না।সীমিত প্রক্রিয়া সমন্বয়ের পরে, TaC ক্যারিয়ার ব্যবহার করে উত্থিত এলইডিগুলি প্রচলিত SiC ক্যারিয়ারগুলির মতো একই কার্যকারিতা এবং অভিন্নতা প্রদর্শন করে।অতএব, টিএসি-প্রলিপ্ত প্যালেটগুলির পরিষেবা জীবন খালি পাথরের কালি এবং এর চেয়ে ভালSiC প্রলিপ্তগ্রাফাইট প্যালেট।
পোস্টের সময়: মার্চ-০৫-২০২৪