TaC প্রলিপ্ত গ্রাফাইট গাইড রিংএকটি পাতলা স্তর জমা পড়ুনট্যানটালাম কার্বাইডএকটি গ্রাফাইট গাইড রিং পৃষ্ঠে এর পরিধান প্রতিরোধের, উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধের এবং রাসায়নিক স্থিতিশীলতা উন্নত করতে। এই আবরণটি সাধারণত ভৌত বাষ্প জমা (PVD) বা রাসায়নিক বাষ্প জমা (CVD) এর মতো কৌশল দ্বারা একটি গ্রাফাইট গাইড রিংয়ের পৃষ্ঠে গঠিত হয়।
সেমিসেরা বিভিন্ন উপাদান এবং বাহকের জন্য বিশেষায়িত ট্যানটালাম কার্বাইড (TaC) আবরণ সরবরাহ করে।সেমিসেরা লিডিং লেপ প্রক্রিয়া ট্যান্টালম কার্বাইড (TaC) আবরণগুলিকে উচ্চ বিশুদ্ধতা, উচ্চ তাপমাত্রা স্থিতিশীলতা এবং উচ্চ রাসায়নিক সহনশীলতা অর্জন করতে সক্ষম করে, SIC/GAN স্ফটিক এবং EPI স্তরগুলির পণ্যের গুণমান উন্নত করে (গ্রাফাইট প্রলিপ্ত TaC সাসেপ্টর), এবং মূল চুল্লি উপাদানের আয়ু বাড়ানো। ট্যানটালাম কার্বাইড TaC আবরণ ব্যবহার হল প্রান্ত সমস্যা সমাধান এবং স্ফটিক বৃদ্ধির গুণমান উন্নত করা, এবং সেমিসেরা যুগান্তকারী সমাধান করেছে ট্যান্টালম কার্বাইড লেপ প্রযুক্তি (CVD), আন্তর্জাতিক উন্নত স্তরে পৌঁছেছে।
বছরের পর বছর বিকাশের পর, সেমিসেরা এর প্রযুক্তিকে জয় করেছেCVD TaCR&D বিভাগের যৌথ প্রচেষ্টায়। SiC ওয়েফারের বৃদ্ধি প্রক্রিয়ায় ত্রুটিগুলি ঘটতে সহজ, কিন্তু ব্যবহারের পরেTaC, পার্থক্য উল্লেখযোগ্য. নীচে TaC সহ এবং ছাড়া ওয়েফারগুলির একটি তুলনা করা হয়েছে, সেইসাথে একক স্ফটিক বৃদ্ধির জন্য সিমিসেরার অংশগুলি।
TaC প্রলিপ্ত গ্রাফাইট গাইড রিংগুলির প্রধান বৈশিষ্ট্যগুলির মধ্যে রয়েছে:
1. উচ্চ তাপমাত্রা প্রতিরোধের: TaC আবরণ চমৎকার উচ্চ তাপমাত্রা স্থায়িত্ব আছে এবং উচ্চ তাপমাত্রা পরিবেশে স্থিতিশীলতা বজায় রাখতে পারে.
2. পরিধান প্রতিরোধের: ট্যানটালাম কার্বাইড পাতলা স্তরের উচ্চ কঠোরতা গাইড রিংকে ভাল পরিধান প্রতিরোধের দেয় এবং এর পরিষেবা জীবনকে প্রসারিত করে।
3. রাসায়নিক স্থিতিশীলতা: রাসায়নিক ক্ষয়ের বিরুদ্ধে TaC আবরণের উচ্চ স্থিতিশীলতা রয়েছে, এটি কিছু ক্ষয়কারী মিডিয়াতে প্রয়োগের জন্য উপযুক্ত করে তোলে।
4. ঘর্ষণ হ্রাস করুন: TaC আবরণ কার্যকরভাবে গ্রাফাইট গাইড রিং এবং অন্যান্য উপাদানগুলির মধ্যে ঘর্ষণ কমাতে পারে এবং যান্ত্রিক সীলগুলির দক্ষতা উন্নত করতে পারে।
TaC সহ এবং ছাড়া
TaC ব্যবহার করার পর (ডানে)
তাছাড়া সেমিসেরারTaC-প্রলিপ্ত পণ্যতুলনায় একটি দীর্ঘ সেবা জীবন এবং বৃহত্তর উচ্চ-তাপমাত্রা প্রতিরোধের প্রদর্শনSiC আবরণ.পরীক্ষাগার পরিমাপ প্রমাণ করেছে যে আমাদেরTaC আবরণবর্ধিত সময়ের জন্য 2300 ডিগ্রি সেলসিয়াস পর্যন্ত তাপমাত্রায় ধারাবাহিকভাবে পারফর্ম করতে পারে। নীচে আমাদের নমুনার কিছু উদাহরণ দেওয়া হল:
