সেমিসেরা বিভিন্ন উপাদান এবং বাহকের জন্য বিশেষায়িত ট্যানটালাম কার্বাইড (TaC) আবরণ সরবরাহ করে।সেমিসেরা লিডিং লেপ প্রক্রিয়া ট্যান্টালম কার্বাইড (TaC) আবরণগুলিকে উচ্চ বিশুদ্ধতা, উচ্চ তাপমাত্রা স্থিতিশীলতা এবং উচ্চ রাসায়নিক সহনশীলতা অর্জন করতে সক্ষম করে, SIC/GAN স্ফটিক এবং EPI স্তরগুলির পণ্যের গুণমান উন্নত করে (গ্রাফাইট প্রলিপ্ত TaC সাসেপ্টর), এবং মূল চুল্লি উপাদানের আয়ু বাড়ানো। ট্যানটালাম কার্বাইড TaC আবরণ ব্যবহার হল প্রান্ত সমস্যা সমাধান এবং স্ফটিক বৃদ্ধির গুণমান উন্নত করা, এবং সেমিসেরা যুগান্তকারী সমাধান করেছে ট্যান্টালম কার্বাইড লেপ প্রযুক্তি (CVD), আন্তর্জাতিক উন্নত স্তরে পৌঁছেছে।
8-ইঞ্চি সিলিকন কার্বাইড (SiC) ওয়েফারের আবির্ভাবের সাথে, বিভিন্ন অর্ধপরিবাহী প্রক্রিয়াগুলির প্রয়োজনীয়তাগুলি ক্রমশ কঠোর হয়ে উঠেছে, বিশেষ করে এপিটাক্সি প্রক্রিয়াগুলির জন্য যেখানে তাপমাত্রা 2000 ডিগ্রি সেলসিয়াস অতিক্রম করতে পারে৷ সিলিকন কার্বাইড দিয়ে প্রলিপ্ত গ্রাফাইটের মতো ঐতিহ্যবাহী সাসেপ্টর উপকরণ, এই উচ্চ তাপমাত্রায় উচ্চতর হওয়ার প্রবণতা, এপিটাক্সি প্রক্রিয়াকে ব্যাহত করে। যাইহোক, CVD ট্যানটালাম কার্বাইড (TaC) কার্যকরভাবে এই সমস্যাটির সমাধান করে, 2300 ডিগ্রী সেলসিয়াস পর্যন্ত তাপমাত্রা সহ্য করে এবং দীর্ঘ পরিষেবা জীবন প্রদান করে। সেমিসেরা'র সাথে যোগাযোগ করুনs ট্যানটালাম কার্বাইড TaC CVD আবরণ কাস্টম অংশআমাদের উন্নত সমাধান সম্পর্কে আরো অন্বেষণ করতে.
বছরের পর বছর বিকাশের পর, সেমিসেরা এর প্রযুক্তিকে জয় করেছেCVD TaCR&D বিভাগের যৌথ প্রচেষ্টায়। SiC ওয়েফারের বৃদ্ধি প্রক্রিয়ায় ত্রুটিগুলি ঘটতে সহজ, কিন্তু ব্যবহারের পরেTaC, পার্থক্য উল্লেখযোগ্য. নীচে TaC সহ এবং ছাড়া ওয়েফারগুলির একটি তুলনা করা হয়েছে, সেইসাথে একক স্ফটিক বৃদ্ধির জন্য সিমিসেরার অংশগুলি।
TaC সহ এবং ছাড়া
TaC ব্যবহার করার পর (ডানে)
তাছাড়া সেমিসেরারTaC-প্রলিপ্ত পণ্যতুলনায় একটি দীর্ঘ সেবা জীবন এবং বৃহত্তর উচ্চ-তাপমাত্রা প্রতিরোধের প্রদর্শনSiC আবরণ.পরীক্ষাগার পরিমাপ প্রমাণ করেছে যে আমাদেরTaC আবরণবর্ধিত সময়ের জন্য 2300 ডিগ্রি সেলসিয়াস পর্যন্ত তাপমাত্রায় ধারাবাহিকভাবে পারফর্ম করতে পারে। নীচে আমাদের নমুনার কিছু উদাহরণ দেওয়া হল:
