ট্যানটালাম কার্বাইড প্রলিপ্ত সাসেপ্টর সাপোর্ট প্লেটএর একটি পাতলা স্তর দিয়ে আচ্ছাদিত একটি susceptor বা সমর্থন কাঠামোট্যানটালাম কার্বাইড. এই আবরণটি সাসেপ্টর পৃষ্ঠে শারীরিক বাষ্প জমা (PVD) বা রাসায়নিক বাষ্প জমা (CVD) এর মতো কৌশল দ্বারা তৈরি করা যেতে পারে, যা সাসেপ্টরকে উচ্চতর বৈশিষ্ট্য প্রদান করে।ট্যানটালাম কার্বাইড.
সেমিসেরা বিভিন্ন উপাদান এবং বাহকের জন্য বিশেষায়িত ট্যানটালাম কার্বাইড (TaC) আবরণ সরবরাহ করে।সেমিসেরা লিডিং লেপ প্রক্রিয়া ট্যান্টালম কার্বাইড (TaC) আবরণগুলিকে উচ্চ বিশুদ্ধতা, উচ্চ তাপমাত্রা স্থিতিশীলতা এবং উচ্চ রাসায়নিক সহনশীলতা অর্জন করতে সক্ষম করে, SIC/GAN স্ফটিক এবং EPI স্তরগুলির পণ্যের গুণমান উন্নত করে (গ্রাফাইট প্রলিপ্ত TaC সাসেপ্টর), এবং মূল চুল্লি উপাদানের আয়ু বাড়ানো। ট্যানটালাম কার্বাইড TaC আবরণ ব্যবহার হল প্রান্ত সমস্যা সমাধান এবং স্ফটিক বৃদ্ধির গুণমান উন্নত করা, এবং সেমিসেরা যুগান্তকারী সমাধান করেছে ট্যান্টালম কার্বাইড লেপ প্রযুক্তি (CVD), আন্তর্জাতিক উন্নত স্তরে পৌঁছেছে।
ট্যানটালাম কার্বাইড লেপা বেস সাপোর্ট প্লেটের প্রধান বৈশিষ্ট্যগুলির মধ্যে রয়েছে:
1. উচ্চ তাপমাত্রার স্থিতিশীলতা: ট্যানটালাম কার্বাইডের চমৎকার উচ্চ তাপমাত্রার স্থিতিশীলতা রয়েছে, যা প্রলিপ্ত বেস সাপোর্ট প্লেটকে উচ্চ তাপমাত্রার কাজের পরিবেশে সহায়তার প্রয়োজনের জন্য উপযুক্ত করে তোলে।
2. জারা প্রতিরোধের: ট্যানটালাম কার্বাইড আবরণ ভাল জারা প্রতিরোধের আছে, রাসায়নিক জারা এবং অক্সিডেশন প্রতিরোধ করতে পারে, এবং বেস পরিষেবা জীবন প্রসারিত.
3. উচ্চ কঠোরতা এবং পরিধান প্রতিরোধের: ট্যানটালাম কার্বাইড আবরণ উচ্চ কঠোরতা বেস সমর্থন প্লেট ভাল পরিধান প্রতিরোধের দেয়, যা উচ্চ পরিধান প্রতিরোধের প্রয়োজন অনুষ্ঠানের জন্য উপযুক্ত।
4. রাসায়নিক স্থিতিশীলতা: ট্যানটালাম কার্বাইডের বিভিন্ন রাসায়নিক পদার্থের উচ্চ স্থিতিশীলতা রয়েছে, যার ফলে প্রলিপ্ত বেস সাপোর্ট প্লেট কিছু ক্ষয়কারী পরিবেশে ভাল কাজ করে।
TaC সহ এবং ছাড়া
TaC ব্যবহার করার পর (ডানে)
তাছাড়া সেমিসেরারTaC-প্রলিপ্ত পণ্যতুলনায় একটি দীর্ঘ সেবা জীবন এবং বৃহত্তর উচ্চ-তাপমাত্রা প্রতিরোধের প্রদর্শনSiC আবরণ.পরীক্ষাগার পরিমাপ প্রমাণ করেছে যে আমাদেরTaC আবরণবর্ধিত সময়ের জন্য 2300 ডিগ্রি সেলসিয়াস পর্যন্ত তাপমাত্রায় ধারাবাহিকভাবে পারফর্ম করতে পারে। নীচে আমাদের নমুনার কিছু উদাহরণ দেওয়া হল:
